固相亚磷酰胺三酯法是目前最常用的OligoDNA化学合成方法，它具有高效、快速的偶联以及起始反应物比较稳定的特点。亚磷酰胺三酯法是将DNA固定在固相载体上完成DNA链的合成，合成的方向是由待合成引物的3′端向5′端合成的，相邻的核苷酸通过3′→5′磷酸二酯键连接。 

合成步骤：

1、脱保护：

将预先连接在固相载体CPG上的活性基团被保护的核苷酸与三氯乙酸反应，脱去其5′-羟基的保护基团DMT，获得游离的5′-羟基；

 2、缩  合：

合成DNA的原料-单体，与活化剂四氮唑混合，得到核苷亚磷酸活化中间体，它的3′端被活化， 5′-羟基仍然被DMT保护，与溶液中游离的5′-羟基发生缩合反应； 

3、带帽 (capping)反应：

缩合反应中可能有极少数5′-羟基没有参加反应 (少于2%)，用乙酸酐和1-甲基咪唑终止其后继续发生反应； 

4、氧 化：

在氧化剂碘的作用下，亚磷酰形式转变为更稳定的磷酸三酯； 通过上述步骤，一个脱氧核苷酸被连接到固相载体的核苷酸上。再重复以上步骤，直到所有要求合成的碱基被连接上去。合成过程中可以观察TCA处理阶段的颜色判定合成效率；

 5、氨 解：

通过氨水高温处理，连接在CPG上的引物被切下来； 

6、纯  化：

切下来的Oligo粗品根据实验目的不同选择不同的纯化手段进行纯化， OD260定量及抽干后根据定单要求对Oligo进行分装。